氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。

企業(yè)視頻展播，請點(diǎn)擊播放

視頻作者：北京曉韜科技有限公司

氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí), 需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過(guò)濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

3 安裝位置問(wèn)題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移，可以調整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問(wèn)題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體，通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。

5 標定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí)，可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。